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【正版书】 RF MEMS器件设计、加工和应用 朱健 编 国防工业出版社
【正版书】 基于COMSOL Multiphysics 的MEMS 建模及应用 张玉宝,李强 主编 冶金工业出版社
【正版书】 MEMS技术前沿与应用发展 尤政,赵嘉昊 著 国防工业出版社
【正版书】 MEMS传感器接口ASIC集成技术 刘晓为,陈伟平 著 国防工业出版社
【正版书】 非硅MEMS技术及其应用 陈文元,张卫平,陈迪 著 上海交通大学出版社
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